旋转
作为领先的全球化旋转溅射靶材制造商,梭莱供应由多种加工工艺制造的广泛靶材。
喷涂:梭莱提供业内领先的热喷涂旋转靶材,保障最佳的工艺稳定性和溅射表现。我们定制化的材料开发,质量标准和革新性喷涂工艺(例如等离子体、电弧和冷喷)保证我们能提供市场上最高密度、纯度和极低气体杂质的喷涂旋转靶材。梭莱的产品包含最被广泛使用的喷涂靶材材料:氧化锌铝、铬、铜镓、氧化铟锡、钼、氧化铌、硅、硅铝、锡、氧化钛、钨合金、锌及其合金(锌锡和锌铝)、氧化锌、氧化锆和氧化锌锡。
铸造:梭莱铸造旋转靶材因其成分稳定,显微组织的一贯性以及纯度控制而出名,这些均有助于提高生产产量和延长靶材寿命。梭莱铸造旋转靶材包括铟、铟锡、锡合金、锌合金(锌铝和锌锡)和许多其他材料。梭莱是生产锂旋转靶的领导者,可以给终端用户提供操作和工艺指导。梭莱提供特定材料的重铸方案(改善成本)以及专有钛护圈技术(改善靶材利用率和碎屑形成)。
挤压成型:梭莱是高纯度挤压铝、铜、钼、铌、镍合金(铬和钒)、钽、钛、锆、钒和其它材料的供应商。我们的靶材材料特性在纯度和颗粒尺寸控制方面表现优异。
热等静压/烧结:梭莱是热等静压旋转靶材的世界顶级供应商。我们的产品包括铬、镍铁和碳、钼、钨合金。梭莱的能力包括将某些材料直接在背管上热等静压;没有使用绑定焊料所以可承受高功率。梭莱也提供自有绑定工艺制造的烧结陶瓷旋转靶材(氧化锌铝、氧化锌和其它材料)。
绑定:梭莱可为金属和陶瓷旋转靶材提供绑定方案,使用铟和弹性纤维可为许多材料进行绑定,包括氧化锌铝、石墨、铬、钼、硅和其它材料。